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电阻式加速度传感器

来源:艾特贸易网 www.aitmy.com2019-09-01

简介图 2. 29(a) 为应变式加速度传感器结构示意图,悬臂梁 1 作为弹性元件,一端固定在壳体 3 的基础上,另一端装有质量块 2 ,悬臂梁根部粘贴应变片 4 连接成差动电桥。 电阻式加速度传


    2. 29(a)为应变式加速度传感器结构示意图,悬臂梁1作为弹性元件,一端固定在壳体3的基础上,另一端装有质量块2,悬臂梁根部粘贴应变片4连接成差动电桥。

    电阻式加速度传感器结构与图2.29(a)相似,但它直接用单晶硅作悬臂梁,并在梁的根部扩散4个电阻组成差动电桥,梁的自由端仍装有惯性质量块。

    2. 29(b)为张丝式加速度传感器,质量块7由弹性支承5支承在基座8上,电阻丝6连在活动质量块与基座之间,作为“m-k -c”(质量块一弹簧阻尼器)系统中弹簧的一部分,感受质量块的位移。当质量块相对于基座横向运动时,一组电阻丝被拉伸,另一组电阻丝被压缩,电阻相对变化通过电桥转换成电压输出。

    2. 29(a)所示用以测量垂直方向的加速度,图2.29(b)所示用以测量水平方向的加速度,如果把二者安装方向转过90。,也可以分别测量横向加速度和竖向加速度。

  图2. 29 电阻式加速度传感器结构示意图

    2. 29  电阻式加速度传感器结构示意图

1-等强度梁;2-质量块;3-壳体;4-应变片;5-弹性支承;6-电阻丝;7-质量块;8-基座